Журнал Экспериментальной и Теоретической Физики
НАЧАЛО | ПОИСК | ДЛЯ АВТОРОВ | ПОМОЩЬ      e
Общая информация о журнале
Золотые страницы
Адреса редакции
Содержание журнала
Сообщения редакции
Правила для авторов
Загрузить статью
Проверить статус статьи


ЖЭТФ, Том 136, Вып. 5, стр. 910 (Ноябрь 2009)
(Английский перевод - JETP, Vol. 109, No 5, p. 786, November 2009 доступен on-line на www.springer.com )

ТУННЕЛЬНАЯ ИНЖЕКЦИЯ ДЫРОК ЧЕРЕЗ ЛОВУШКИ В SiO2: ЭКСПЕРИМЕНТ И ТЕОРИЯ
Насыров К.А., Шаймеев С.С., Гриценко В.А.

Поступила в редакцию: 27 Декабря 2008

PACS: 72.20.-i, 72.20.Jv

DJVU (120.8K) PDF (317.4K)

Экспериментально изучена инжекция дырок из кремния через оксид кремния SiO2 в структуре нитрид тантала - оксид алюминия - нитрид кремния - оксид кремния - кремний (TANOS). Применение диэлектрика Al2 O3 с высокой диэлектрической проницаемостью в качестве блокирующего диэлектрика подавляет паразитную инжекцию электронов из проводящего контакта TaN, что позволяет изучать инжекцию дырок из подложки в нитрид до сравнительно высоких электрических полей. Полученные экспериментальные данные не описываются обычным законом Фаулера - Нордгейма с разумными физическими параметрами. В то же время эти результаты хорошо согласуются с моделью туннельной инжекции дырок через ловушки в SiO2. Развитая теория показывает, что в этот процесс основной вклад дают ловушки в узком энергетическом слое, т. е. такая инжекция носит резонансный характер.

 
Сообщить о технических проблемах