Journal of Experimental and Theoretical Physics
HOME | SEARCH | AUTHORS | HELP      
Journal Issues
Golden Pages
About This journal
Aims and Scope
Editorial Board
Manuscript Submission
Guidelines for Authors
Manuscript Status
Contacts


ZhETF, Vol. 136, No. 5, p. 910 (November 2009)
(English translation - JETP, Vol. 109, No. 5, p. 786, November 2009 available online at www.springer.com )

ТУННЕЛЬНАЯ ИНЖЕКЦИЯ ДЫРОК ЧЕРЕЗ ЛОВУШКИ В SiO2: ЭКСПЕРИМЕНТ И ТЕОРИЯ
Насыров К.А., Шаймеев С.С., Гриценко В.А.

Received: December 27, 2008

PACS: 72.20.-i, 72.20.Jv

DJVU (120.8K) PDF (317.4K)

Экспериментально изучена инжекция дырок из кремния через оксид кремния SiO2 в структуре нитрид тантала - оксид алюминия - нитрид кремния - оксид кремния - кремний (TANOS). Применение диэлектрика Al2 O3 с высокой диэлектрической проницаемостью в качестве блокирующего диэлектрика подавляет паразитную инжекцию электронов из проводящего контакта TaN, что позволяет изучать инжекцию дырок из подложки в нитрид до сравнительно высоких электрических полей. Полученные экспериментальные данные не описываются обычным законом Фаулера - Нордгейма с разумными физическими параметрами. В то же время эти результаты хорошо согласуются с моделью туннельной инжекции дырок через ловушки в SiO2. Развитая теория показывает, что в этот процесс основной вклад дают ловушки в узком энергетическом слое, т. е. такая инжекция носит резонансный характер.

 
Report problems