Journal of Experimental and Theoretical Physics
HOME | SEARCH | AUTHORS | HELP      
Journal Issues
Golden Pages
About This journal
Aims and Scope
Editorial Board
Manuscript Submission
Guidelines for Authors
Manuscript Status
Contacts


ZhETF, Vol. 143, No. 3, p. 403 (March 2013)
(English translation - JETP, Vol. 116, No. 3, p. 347, March 2013 available online at www.springer.com )

ТЕРМИЧЕСКОЕ ПЛАВЛЕНИЕ И АБЛЯЦИЯ КРЕМНИЯ ФЕМТОСЕКУНДНЫМ ЛАЗЕРНЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ
Ионин А.А., Кудряшов С.И., Селезнев Л.В., Синицын Д.В., Бункин А.Ф., Леднев В.Н., Першин С.М.

Received: July 4, 2012

DOI: 10.7868/S0044451013030012

DJVU (549.9K) PDF (2463.5K)

Пространственно-временная динамика термического плавления, подповерхностной кавитации, откольной и фрагментационной абляции поверхности кремния под действием одиночных фемтосекундных импульсов излучения ИК-лазера исследована с помощью метода микроскопии оптического отражения с временным разрешением. Данная динамика наблюдалась путем мониторинга пикосекундных и (суб)наносекундных колебаний отражения пробного импульса, которое модулировалось пикосекундными акустическими реверберациями в динамически растущем и одновременно аблируемом поверхностном расплаве с другим акустическим импедансом, а также оптической интерференцией реплик пробного импульса, отраженных от поверхности откольного слоя расплава и его слоя, оставшегося на поверхности мишени. Периоды акустических ревербераций изменяются в ходе роста и абляции поверхностной пленки расплава, позволяя выполнить количественные оценки вклада данных процессов в тепловую динамику поверхности материала. Полученные результаты по тепловой динамике лазерного воздействия подтверждаются данными динамических измерений параметров абляции с помощью бесконтактной ультразвуковой диагностики, а также растровой электронной, атомно-силовой и оптической интерференционной микроскопии областей модификации и абляции, возникающих на поверхности кремния.

 
Report problems