Комплексная диэлектрическая проницаемость субволновых планарных элементов гетероструктур в терагерцевом диапазоне частот
Конникова М.Р., Третьяков А.К., Акимов Ю.А., Ожередов И.А., Кистенев Ю.В., Шкуринов А.П.

Поступила в редакцию: 30 Декабря 2025

DOI: 10.31857/S0044451026050011

PDF (3115.9K)

Представлено аналитическое и экспериментальное обоснование метода восстановления комплексной диэлектрической проницаемости субволновых пленок по данным импульсной терагерцевой спектроскопии. Рассматривается математическая модель, основанная на одновременном использовании отраженного и прошедшего через образец терагерцевых сигналов, что позволяет определить комплексный показатель преломления пленки без необходимости дополнительных опорных измерений. Проведено сравнение полноволновой модели и приближения бесконечной подложки, показано, что последнее обеспечивает более устойчивое восстановление оптических параметров при сохранении высокой точности. Выполнена численная верификация метода и экспериментальная проверка на пленках GeTe различной толщины, испытывающих фазовый переход из аморфного состояния в кристаллическое. Продемонстрировано, что предложенный подход обеспечивает корректное определение показателя преломления и коэффициента поглощения в широком диапазоне диэлектрических свойств исследуемого материала и может быть использован для диагностики субволновых фазоизменяемых пленок в терагерцевом диапазоне. Ключевые слова}: терагерцевая спектроскопия, комплексная диэлектрическая проницаемость, тонкие пленки, фазоизменяемые материалы