Конверсия энергии электронов в ЭУФ-излучение K_α -линии Be в «прострельной» геометрии
Лопатин А.Я., Парев Д.Е., Пестов А.Е., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Демин Г.Д., Дюжев М.А., Махиборода М.А., Кочетков А.А.

Поступила в редакцию: 30 Марта 2018

DOI: 10.1134/S0044451018120015

PDF (1637.9K)

Приводятся описание модели и результаты теоретических расчетов взаимодействия ускоренных электронов с атомами тонкопленочной «прострельной» мишени из бериллия. В основу алгоритма положено моделирование методом Монте-Карло движения электрона в толще мишени с потерей энергии на упругое и неупругое взаимодействие. По результатам расчета вычисляется коэффициент конверсии энергии электронов в энергию излучения характеристической K_α -линии Be (λ =11.4 нм), а также строится спектр излучения. Максимальное значение коэффициента конверсии в телесный угол 4π CE=3.0• 10^-4 достигается при энергии электронов E_e=2.0 кэВ и толщине свободно висящей пленки бериллия 40 нм. Экспериментально изучены пленки толщиной 200 нм и 400 нм. Максимальное значение коэффициента конверсии в телесный угол 4π для пленки толщиной 200 нм и энергии электронов E_e=2.75 кэВ составило CE_exp=9.2• 10^-5 при расчетном значении CE_calc=2.5• 10^-4. Дается объяснение наблюдаемого расхождения между результатами теории и эксперимента.