Ближний порядок в аморфном и кристаллическом сегнетоэлектрическом Hf_0.5Zr_0.5O₂
Эренбург С.Б., Трубина С.В., Квашнина К.О., Кручинин В.Н., Гриценко В.В., Черникова А.Г., Маркеев А.М.

Поступила в редакцию: 14 Февраля 2018

DOI: 10.7868/S0044451018060135

PDF (1317.9K)

Методами рентгеновской спектроскопии и эллипсометрии исследована микроструктура аморфных и поликристаллических сегнетоэлектрических пленок Hf_0.5Zr_0.5O₂. Из анализа рентгеновских спектров поглощения установлено, что аморфная пленка представляет собой «не полностью перемешанный» твердый раствор металлических оксидов HfO₂ и ZrO₂. Установлено также, что после быстрого термического отжига образцы смешанных оксидов Hf_0.5Zr_0.5O₂ имеют более упорядоченную поликристаллическую структуру. При этом в пленках образуются отдельные островки фаз монооксидов Hf и Zr, соприкасающиеся на границах раздела и имеющие размеры порядка нескольких нанометров со структурой, аналогичной моноклинной структуре HfO₂ и ZrO₂. На основе результатов, полученных методом эллипсометрии, для образцов Hf_0.5Zr_0.5O₂ также обнаружено присутствие фаз HfO₂ и ZrO₂.