Журнал Экспериментальной и Теоретической Физики
НАЧАЛО | ПОИСК | ДЛЯ АВТОРОВ | ПОМОЩЬ      e
Общая информация о журнале
Золотые страницы
Адреса редакции
Содержание журнала
Сообщения редакции
Правила для авторов
Загрузить статью
Проверить статус статьи


ЖЭТФ, Том 148, Вып. 6, стр. 1186 (Декабрь 2015)
(Английский перевод - JETP, Vol. 121, No 6, p. 1042, December 2015 доступен on-line на www.springer.com )

ТЕРМОДИНАМИКА ФАЗОВОГО ПЕРЕХОДА НАНОЧАСТИЦ КРЕМНИЯ ПРИ ОТЖИГЕ И КАРБОНИЗАЦИИ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
Нагорнов Ю.С.

Поступила в редакцию: 2 Июня 2015

DOI: 10.7868/S0044451015120135

DJVU (393.8K) PDF (1420.1K)

Выполнен анализ формирования нанокристаллов SiC кубической модификации в процессе высокотемпературной карбонизации пористого кремния. Предлагается термодинамическая модель для описания совокупности экспериментальных данных, полученных методами атомно-силовой микроскопии, комбинационного рассеяния, спектрального анализа, оже-спектроскопии и рентгенодифракционной спектроскопии. Показано, что поверхностная энергия наночастиц и квантовых нитей кремния в процессе отжига и карбонизации освобождается. Моделирование методом Монте-Карло показало, что освободившаяся энергия позволяет преодолеть барьер зародышеобразования и сформировать нанокристаллы SiC. Выполнен анализ процессов лазерного отжига и электронного облучения карбонизированного пористого кремния.

 
Сообщить о технических проблемах