ЖЭТФ, Том 145,
Вып. 3,
стр. 421 (Март 2014)
(Английский перевод - JETP,
Vol. 118, No 3,
p. 365,
March 2014
доступен on-line на www.springer.com
)
ОБ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИХ СПЕКТРАХ ВТОРИЧНЫХ ИОНОВ ИЗ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ И ГРАФИТА
Хвостов В.В., Хрустачев И.К., Миннебаев К.Ф., Закова Е.Ю., Иваненко И.П., Юрасова В.Е.
Поступила в редакцию: 13 Августа 2013
DOI: 10.7868/S0044451014030045
Исследована вторичная ионная эмиссия из монокристаллов графита и кремния, облучаемых ионами аргона с энергией E0 от 1 до 10 кэВ при различных углах падения α на поверхность образца. Прослежены энергетические спектры вторичных ионов C+ и Si+, для которых наблюдается сдвиг их максимумов Emax в сторону б&оacute;льших энергий E1 вторичных ионов с увеличением полярного угла эмиссии θ, отсчитываемого от нормали к поверхности. Противоположная тенденция обнаружена для ионов, эмитируемых из монокристалла, нагретого до нескольких сотен градусов Цельсия: величина Emax сначала не меняется, а затем сдвигается в сторону меньших значений E1 с увеличением θ. Показано, что величина и сдвиг максимума энергетического спектра вторичных ионов углерода с ростом угла эмиссии практически не зависит от E0, угла α и рельефа облучаемой поверхности (в пределах исследованных E0 и α). Получены и обсуждаются необычные осциллирующие энергетические распределения вторичных ионов, выходящих с грани (111) кремния и с грани (0001) слоистого графита. Проведен численный расчет процесса распыления и перезарядки вторичных ионов. Сравнение экспериментальных и расчетных данных для кристаллов графита показало, что образование ионов C+ происходит в результате процесса перезарядки вторичных ионов ионами Ar+ не только по выходе из мишени, но и внутри нее. Это существенно отличается от процесса в металлах и должно учитываться при рассмотрении механизмов вторичной ионной эмиссии и при практическом использовании в масс-спектрометрии вторичных ионов.
|
|