Журнал Экспериментальной и Теоретической Физики
НАЧАЛО | ПОИСК | ДЛЯ АВТОРОВ | ПОМОЩЬ      e
Общая информация о журнале
Золотые страницы
Адреса редакции
Содержание журнала
Сообщения редакции
Правила для авторов
Загрузить статью
Проверить статус статьи


ЖЭТФ, Том 137, Вып. 5, стр. 879 (Май 2010)
(Английский перевод - JETP, Vol. 110, No 5, p. 769, May 2010 доступен on-line на www.springer.com )

ОПРЕДЕЛЕНИЕ НЕРАВНОВЕСНОЙ КОНЦЕНТРАЦИИ ВАКАНСИЙ В КРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ ПО ИЗМЕРЕНИЮ КОНЦЕНТРАЦИИ АТОМОВ НИКЕЛЯ В УЗЛАХ РЕШЕТКИ
Хорошева М.А., Орлов В.И., Абросимов Н.В., Кведер В.В.

Поступила в редакцию: 20 Ноября 2009

DJVU (96.4K) PDF (281.3K)

Предложен метод определения неравновесной концентрации вакансий и вакансионных комплексов в кристаллах кремния путем измерения концентрации электрически активных атомов никеля в узлах решетки кремния, [NiS], после диффузии никеля при температурах 550-650 . Экспериментально показано, что после диффузии никеля с поверхности в образцы кремния с различной начальной неравновесной концентрацией вакансионных комплексов, [ SiV]init, возникших при росте кристаллов, концентрация [ NiS] в глубине образца с хорошей точностью соответствует концентрации вакансий [ SiV]init, определенной стандартным методом, основанным на анализе профилей концентрации [ AuS] после диффузии золота с поверхности. Данный метод определения концентрации вакансий гораздо проще, чем стандартный метод, и позволяет использовать более низкие температуру и тепловой бюджет.

 
Сообщить о технических проблемах