Влияние низкоэнергетического ионного ассистирования на структуру и оптическое поглощение композитных покрытий a-CH:Ag
Завидовский И.А., Нищак О.Ю., Савченко Н.Ф., Стрелецкий О.А.

Received: November 15, 2021

DOI: 10.31857/S0044451022060037

PDF (6.5M)

Исследовано влияние изменения энергии и тока низкоэнергетической (100-600 эВ) ионной стимуляции на структуру углеродных гидрогенизированных покрытий с серебряными включениями (a-CH:Ag), синтезированных методом импульсно-плазменного осаждения. При помощи методов просвечивающей электронной микроскопии, электронной дифракции, спектроскопии характеристических потерь энергии электронов, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, поглощения в УФ и видимой областях спектра показано влияние энергии и тока стимуляции на проявление ионно-индуцированных эффектов, таких как дефектообразование, селективное распыление серебра, поверхностная диффузия и сегрегация серебряных частиц.