НЕЛИНЕЙНО-ОПТИЧЕСКИЕ И СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ
Бродин М.С., Волков В.И., Ляховецкий В.Р., Руденко В.И., Пузиков В.М., Семенов А.В.

Received: April 29, 2011

DJVU (213K)

PDF (1333.7K)

Цель настоящей работы - исследование нелинейности рефракции в наноструктурированных пленках карбида кремния в зависимости от их структурных особенностей: условий синтеза таких пленок, температуры подложки при их осаждении, содержания кристаллической фазы в пленке, соотношения атомных концентраций Si/C в пленке, размера образующихся в пленке нанокристаллов SiC. Были получены соответствующие зависимости. Получены также значения нелинейно-оптической восприимчивости третьего порядка χ ⁽³⁾ (ω;ω,-ω,ω) для различных политипов карбида кремния - 3C, 21R, 27R, которые на четыре порядка превышают значение χ ⁽³⁾ в объемных монокристаллах карбида кремния.