Journal of Experimental and Theoretical Physics
HOME | SEARCH | AUTHORS | HELP      
Journal Issues
Golden Pages
About This journal
Aims and Scope
Editorial Board
Manuscript Submission
Guidelines for Authors
Manuscript Status
Contacts


ZhETF, Vol. 140, No. 1, p. 92 (July 2011)
(English translation - JETP, Vol. 113, No. 1, p. 80, July 2011 available online at www.springer.com )

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЩЕЛЕВЫХ КРЕМНИЕВЫХ МИКРОСТРУКТУР: ТЕОРИЯ И ЭКСПЕРИМЕНТ
Дьяков С.А., Астрова Е.В., Perova T.S., Тиходеев С.Г., Гиппиус Н.А., Тимошенко В.Ю.

Received: October 7, 2010

DJVU (368.6K) PDF (895.8K)

Экспериментально и теоретически исследованы спектры отражения щелевых кремниевых структур, состоящих из чередующихся кремниевых слоев и пустот (щелей) с периодом a=4-6 мкм, в среднем ИК-диапазоне (λ=2-25 мкм) при освещении образцов по нормали к поверхности светом, поляризованным вдоль кремниевых слоев и перпендикулярно им. Расчет выполнен методом матрицы рассеяния с учетом потерь на рэлеевское рассеяние в щелевом слое посредством добавления мнимых частей к показателям преломления кремния и воздуха в области щелей. Наблюдается хорошее согласие между экспериментальными и расчетными спектрами коэффициента отражения во всем исследуемом спектральном диапазоне. Из анализа экспериментальных и расчетных спектров найдены близкие друг к другу значения эффективных показателей преломления и двулучепреломления исследуемых структур в длинноволновой области спектра, в то время как значения, рассчитанные в модели эффективной среды в длинноволновом приближении (\lambda \gg a), дают существенно заниженные значения. Полученные результаты подтверждают эффективность используемого метода матрицы рассеяния для описания оптических свойств кремниевых микроструктур.

 
Report problems