ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСИ АЦЕТИЛЕНА НА СВОЙСТВА ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА В АРГОНЕ
Арискин Д.А., Швейгерт И.В.

Received: February 27, 2009

PACS: 52.27.Cm, 52.25.-b

DJVU (168.3K)

PDF (524.8K)

Проводится исследование влияния доли ацетилена в смеси с аргоном на параметры высокочастотного газового разряда с использованием кинетического моделирования методом частиц в ячейках с розыгрышем столкновений методом Монте-Карло. Особое внимание уделяется анализу формирования ионов и радикалов, являющихся прекурсорами роста наночастиц в объеме разряда. Показано, что концентрации электронов, а также положительных и отрицательных ионов являются немонотонными функциями количества ацетилена в смеси. Присутствие отрицательных ионов, концентрация которых сравнима с концентрацией электронов, несущественно изменяет параметры высокочастотного разряда.