РАЗЛИЧНЫЕ МОДЫ ГОРЕНИЯ ЕМКОСТНОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА В МЕТАНЕ
Швейгерт И.В.

Received: December 5, 2003

PACS: 52.27.Aj, 52.65.Ww, 52.80.Pi

DJVU (141.4K)

PDF (395.9K)

Две различные моды емкостного высокочастотного разряда в метане исследованы методом численного моделирования с использованием комбинированного кинетического подхода при давлении газа P=(0.01-1) Торр. Показано, что переход между объемной модой и модой с активными слоями вызывается изменением тока разряда или давления газа. При изменении тока разряда вдоль растущей и падающей веток тока обнаружено явление гистерезиса. Построена фазовая диаграмма, которая обозначает области существования различных мод разряда в широком диапазоне токов и давлений.