Journal of Experimental and Theoretical Physics
HOME | SEARCH | AUTHORS | HELP      
Journal Issues
Golden Pages
About This journal
Aims and Scope
Editorial Board
Manuscript Submission
Guidelines for Authors
Manuscript Status
Contacts


ZhETF, Vol. 124, No. 5, p. 1090 (November 2003)
(English translation - JETP, Vol. 97, No. 5, p. 978, November 2003 available online at www.springer.com )

ИЗМЕНЕНИЕ СОСТОЯНИЙ ПРИМЕСЕЙ И СООТВЕТСТВУЮЩИХ СИЛОВЫХ ПОЛЕЙ В КРЕМНИИ ПОСЛЕ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ЦИКЛИЧЕСКИХ ОТЖИГОВ
Воронкова Г.М., Григорьев В.В., Зуев А.В., Зуев В.В., Кирюхин А.Д., Маныкин Э.А., Чмырев В.И., Щербаков С.А.

Received: April 10, 2003

PACS: 82.56.Lz, 68.35.Dv, 68.43.Jk, 68.55.Ac

DJVU (164.5K) PDF (395.6K)

На основе экспериментов, включающих в себя последовательности процессов при различных температурах, различных режимах охлаждения и различных состояниях поверхности, изучено влияние высокотемпературных отжигов с различными режимами охлаждения на изменение величин удельного сопротивления и времени релаксации фотопроводимости в кремнии и на степень реализации акцепторного состояния золота при диффузии его из слоя на поверхности, создаваемого напылением в вакууме. Опытные данные рассматриваются на основе представлений об изменениях состояний примесей, содержащихся в кремнии, и соответствующих им динамических и статических силовых полей.

 
Report problems